Fraunhofer HHI izvēlas Veeco izsmidzināšanas sistēmu

Optisko telekomunikāciju pētījumu institūts pasūta jonu staru izsmidzināšanas sistēmu, lai izveidotu lāzera fasetes pārklājumus un mikrooptiskas ierīces.

HHI izmantos Veeco IBS tehnoloģiju, lai izveidotu lāzera fasetes pārklājumus.

Veeco Instruments ir paziņojis, ka ir nosūtījis savu Spector Ion Beam Sputtering (IBS) sistēmu un Sirius optisko monitoru sistēmu Fraunhofera institūts Telekomunikācijas(HHI).
Institūts, kas atrodas Berlīnē, Vācijā, saka, ka izmantos šo IBS tehnoloģiju, “lai izstrādātu un ražotu fasetes pārklājumus un citas mikrooptiskas ierīces”.
"Izsmalcinātu mikrooptisko ierīču izstrādei nepieciešama ārkārtas smidzināšanas tehnoloģija," komentēja Fraunhofer aizmugures un iepakojuma grupas vadītāja Greta Ropers.
"Veeco Spector sistēma kopā ar Sirius OMS nodrošinās, ka mēs automatizētā, izveidotā platformā izstrādājam un ražojam pasaules klases ierīces ar visaugstāko caurlaidspēju un procesu atkārtojamību."

Optiskās plānas plēves
Spector platforma rada augstas kvalitātes optiskās plānas plēves ar uzlabotu produktivitāti un caurlaidspēju, pēc klientu domām. Atšķirībā no iztvaikošanas pārklājumiem, ar jonu staru izšļakstītas plānas plēves tiek nogulsnētas ar lielu enerģiju, nodrošinot ārkārtas biezuma kontroli un zemu defektu blīvumu lāzera pārklājuma lietošanai. Sirius OMS uzlabo Spector platformas iespējas, savienojot platjoslas uzraudzības kontroli ar jonu staru nogulsnēto filmu stabilitāti .
"Fraunhofer HHI pasaules līderis nākamās paaudzes lāzera fasetes pārklājumu un mikrooptisko ierīču izstrādē," sacīja Dr. Adrians Devasahayam, Veeco Advanced Deposition and Etch (AD&E) biznesa viceprezidents un ģenerāldirektors. "Spector sistēma nodrošina nepārspējamu kvalitāti un elastību precīzu optisko pārklājumu plānām plēvēm un paātrinās to attīstības mērķus."
Finansējumu šim projektam piešķīra Forschungsfabrik Mikroelektronik, starpelementu mikroelektronikas un nanoelektronikas pētījumu rūpnīca, apdraudot vienpadsmit Fraunhofer grupas institūtus, kā arī inovācijas augstas veiktspējas mikroelektronikai un Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Sistēma tika pārdota sadarbībā ar Veeco Eiropas kanālu partneri,Veonis Technologies.